高纯气体管路过滤器原理
这 种过滤器是应用于高纯气体管路的一种过滤装置，不仅局限于实验室，还可用于工业气体管道，可实现高压与高纯度分析试验技术，通过高精密过滤芯将入口气体双 开口滤筒径向通气孔，过滤去除管路中的杂质和水分，使通过过滤器后的气体达到超高纯，高压以及干燥的效果。它的精度高。耐压力能力强，安全可靠，尤其适用 于高压高纯危险性气体管路中，保证气体纯度要求，防止检测精度与安全。
实验室高纯气体过滤器应用
本文主要指气体过滤器应用在实验室的情况。参照百度的解读请点：高纯高压管路过滤器
实 验室高纯气体过滤器，它是一种工业名词，应用于实验室气体系统中时，结合分析仪器对供应气体纯度及洁净度的要求，例如在SEMI标准中，对10011级以 专用BA级管道中供给的氮和氩气中规定≥011Lm粒子≤014个L；而在16MDRAM仪器用气中>氧气和氢气的洁净度为011Lm的粒 子<1个L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用气前安装过滤器。粒子过滤 器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷， Teflon膜，陶瓷膜等。
实验室高纯气体过滤器安装图
上 图所示，我们共安装了氩气、氮气和乙炔三种气体管路，施工前，我们先提前确定好乙炔气的放置处，然后固定好钢瓶减压阀和固定面板，在乙炔气瓶汇流排的上方 主管道系统中安装了气体过滤器，经气瓶减压阀进行调压后，通过过滤器的压力已经降下来。这种气路减压方式，我们选择是普通的高纯气体过滤系统，足以满足仪 器要求的洁净度纯度使用。
