山东大学新材料实验室不锈钢特种气体配气柜设备的现状
原不锈钢自动配气系统的材质为316L,配合减压阀装置,流量计和旁路管道分支,管线错综复杂,标识不明显,且气体流量计的精度与现实不符,使用起来非常不方便。
山东大学新材料实验室不锈钢特种气体柜的设计要求
如图所示,配气柜的功能要达到将H2,CH4,N2,CO2四种气体的任意两种进行充分混合后输出混合气,可达到自动气体配气设备的使用要求,对于特种气体配气设备的定制,采用316L不锈钢气体管道和减压控制系统,设备研发定制需与甲方实际仪器设备的使用要求,根据配置比例和流量要求,出具设备清单价格进行比对。
项目为山东大学新材料实验室气体配气装置配气箱的设计与安装,在设计智能气体混气配气设备之前,混合气体配气柜需要以下几个几项来做沟通,达到多通量动态标准气体配气箱的使用要求和标准。
序号 | 项目 | 参数 |
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1 | 管道气体种类 | 此项目有H2,CH4,N2,CO2四种气体 |
2 | 压力表 | 量程(MPa)根据仪器的使用压力来定 |
3 | 质量流量计 | 量程SCCM 数显 可设置,根据客户使用要求 |
4 | 管径 | 口径1/4或3/8 |
5 | 管道材质 | 316L,BA级或EP级,EP级半导体行业多选择 |
6 | 各种阀门 | 依照管径及图示选择 |
7 | 气体柜大小 | 配气柜的尺寸大小,分为落地式或桌面式,根据客户现场情况定制定做均可 |
大学实验室自动气体配气设备定制图
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